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Electronics
스퍼터용 전원
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작성자 최고관리자 작성일16-02-02 16:20 조회1,484회관련링크
https://www.origin.co.jp/eng/business/electronics/403.html
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고신뢰성은 물론, 아크 발생시 고속 제어 대응, 안정된 출력 특성(30W~300kW)을 가지고 있습니다. 또한, 철저한 열 설계로 소형화를 실현 시켰습니다.
Merits
마스터 슬레이브 운전에 의한 대용량 부하에도 대응합니다.
역률 개선 회로 (PFC) 탑재로 인하여 입력 고주파를 저감합니다.
다단 인버터 방식의 채용으로 극히 적은 아크 에너지를 실현합니다.
Usage
반도체 프로세스의 재료 성막, 태양 전지 파넬, 유기 EL 및 액정 , PDF 성막
