Electronics

본문 바로가기

영문일문



HOME > 제품소개 > Electronics

Electronics

스퍼터용 전원

페이지 정보

작성자 최고관리자 작성일16-02-02 16:20 조회299회

본문

고신뢰성은 물론, 아크 발생시 고속 제어 대응, 안정된 출력 특성(30W~300kW)​을 가지고 있습니다. 또한, 철저한 열 설계로 소형화를 실현 시켰습니다.  

Merits

마스터 슬레이브 운전에 의한 대용량 부하에도 대응합니다.

역률 개선 회로 (PFC) 탑재로 인하여 입력 고주파를 저감합니다.

다단 인버터 방식의 채용으로 극히 적은 아크 에너지를 실현합니다.

Usage

반도체 프로세스의 재료 성막, 태양 전지 파넬, 유기 EL 및 액정 , PDF 성막


상단으로 가기

Origin Korea CO.,LTD
08503 서울특별시 금천구 가산디지털1로 181 가산W센터 301호
Room301, Gasan W center, 181, Gasan digital 1-ro, Geumcheon-gu, Seoul, 08503, Korea
Tel 02-6295-1192 / +82-2-6295-1192    Fax 02-6295-1194 / +82-2-6295-1194
페이스북 트위터

© 2015 Origin Korea CO.,LTD